光学显微镜主要由物镜、目镜、光源、台面、焦距调节系统等几个主要元件组成。
物镜是显微镜中最重要的部分之一，它通过物镜透镜将待观察的样品放大，通常有4X、10X、40X、100X几个倍数可供选择，不同倍数的物镜可以产生不同的放大倍数。
目镜是显微镜的视域所在，也就是观察者眼睛看到的地方。目镜一般有两个透镜组成，因此也叫做双目镜。它是用来将由物镜放大后的像再次放大，用于眼睛观察。目镜通常设定为10X的倍数。
光源通常是指显微镜内置的LED等灯光，它的作用是照亮切片或生物样本使它们在显微镜成像时可以清晰可见。
台面是物品放置的地方，可以进行上下、左右调节，便于样品观察。焦距调节系统通常由粗调和细调组成，用于调节物镜的距离，得到清晰的像。
电子显微镜主要由电子枪、电子透镜、电磁透镜、屏幕和检测器等几个主要元件组成。
电子枪是电子显微镜中产生电子束的部分。电子束产生在含有阴极的高真空环境中。电子枪产生的电子直线加速到样品上并形成投射在屏幕上的影像。
电子透镜和电磁透镜是用于控制电子束聚焦和扫描的部件。它们通过控制电磁场的强弱和方向来调节电子束的路径和线宽大小，从而产生高清晰度的图像。电子透镜通常还有减弱器组件，用于控制透镜的放大倍数。
屏幕是电子显微镜用于显示成像结果的标准设备，它通常由荧光屏或荧光涂层屏幕构成。荧光屏是一种广泛使用的屏幕类型，使用光学方式将图像转化为可见的影像，并具有高对比度和细节。
检测器用于收集成像数据并将其转化为电信号，可以方便地处理和存储数据。检测器常用的类型包括CCD和CMOS。CCD（电荷耦合器件）是一种高端的图像传感器，被广泛用于电子显微镜中，CMOS（金属半导体氧化物）检测器是一种比较新的技术，也在电子显微镜中得到了越来越广泛的应用。
扫描电镜是一种基于高能束或射线照射样品的表面成像技术，主要由电子枪、扫描线圈、样品架、检测器等主要元件组成。
电子枪主要是由阴极、聚束极及阳极三部分构成，它通过加热并电离阴极来发射电子。被发射的电子首先会被聚集在聚束极的中心处，随着聚束极电压的升高，电子聚束得更加紧密，进而产生了高能束。
扫描线圈是把电子束抽成细束扫描在样品表面的部件。它可以按照生产的样品扫描图形来扫描样品表面，从而产生非常高分辨率的图像。
样品架用于记录样品的信息。它通常由一个或几个架子组成，可以容纳样品并在扫描区域内移动。样品通常由一些金属，陶瓷或其他类似材料制成。
检测器通过收集样品后散射回来的电磁辐射或微粒子，来记录样品的信息，一般采用的是二次电子检测器或光电倍增管等设备。
近场扫描显微镜是一种基于高分辨率成像的非接触测量技术，主要由探针、探针光纤、扫描仪及控制电子学等几个主要元件组成。
探针是近场扫描显微镜中非常关键的组件，它通常是由一个金属探头和一个光纤准直器组成。探针可以通过摆脱理论分辨极限限制，实现纳米级别的成像测量。
探针光纤通常是由纤维光学成分和辅助材料组成。它常常被用于控制上面提到的探针的位置及方向，其作用类似于电子显微镜中的扫描线圈。
扫描仪是探针的相关检测部分，一般用于检测和记录探针所测量的信号。扫描仪通常包含位移、角度和捕获控制等功能，可以测量样品表面的辐射强度和折射率等数据。
控制电子学主要用于控制扫描仪的活动和控制样品运动，可以输出相应的数据和信号。控制电子学还可以提供数据记录、时序分析和数据处理等其他分析工具。
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