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半导体矽晶圆是什么材料制成 半导体矽晶圆的材料是什么?

半导体矽晶圆是什么材料制成

半导体矽晶圆通常是指晶体管和集成电路等电子产品所使用的基础材料。晶圆是一种光滑的硅片,它具有高纯度、均匀性好、表面光洁度高等特点,因此被广泛应用于电子行业。

1、硅片制备过程

硅片通常使用Czochralski法制备,具体步骤如下:

首先,将纯度超过99.995%的硅棒加热到高温,使其融化成液态硅;

然后,在液态硅表面放入“种子晶体”,通过旋转和拉扯等方式,使液态硅逐渐结晶形成硅单晶;

最后,通过研磨和抛光等工艺将硅单晶制成光滑的硅片。

2、硅片的物理特性

硅片具有很好的半导体特性,即在一定的条件下,它既可以像导体一样传电,也可以像绝缘体一样隔电,能够通过控制电子的流动来实现电子器件的功能。

此外,硅片的热膨胀系数、硬度和化学稳定性都非常好,可以适应各种不同的制造工艺和工作环境。

3、硅片的纯度要求

硅片的纯度是制造高品质电子器件的关键因素之一,因为杂质或掺杂元素会影响材料的电性能和稳定性。

目前,制造半导体矽晶圆所使用的硅片需要满足ppba级别的纯度,即纯度必须达到99.9999999%以上。为了达到这个纯度水平,制造商会采取多种纯化技术,例如真空熔炼、石墨化学气相沉积等。

4、硅片的尺寸和形状

硅片的尺寸和形状对电子器件的性能和制造成本都有很大影响,因此制造商需要通过精密的控制工艺来确保硅片的尺寸和形状统一。

目前,硅片的直径最大可以达到450mm,而常用的尺寸则为200mm和300mm。此外,硅片的形状也非常重要,通常采用圆形或方形,这可以方便制造商在制造过程中的定位和对准操作。

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