《多晶硅生产技术》是在2009年8月化学工业出版社出版的图书,作者是邓丰、唐正林。
本书主要讲述了改良西来自门子法生产多晶硅的制备原理。内容包括多晶硅原料制备、原料提纯、多晶硅制备、尾气回收、硅芯的制备等核心内容,同时对超纯水的制备,氢气、氯气的制备和净化作了详细介绍。本书紧密结合生产实践,注重了理论与实践的有机结合灯略察名县友底督。
本书可作为高职高专硅材料技术及光伏专业360百科的教材,同时也可作为中答罗零鲜刘转专、技校和从事单晶硅生产的企业员工的培训教材,还可供相关专业工程技术人员学习参考。
第1章概述1
11硅的简介1
12硅材料工业概况管头效会温速已才缺4
13多晶硅的生产方法7
小结12
习题12
第2章纯水的制备13
21水的概述13
22离子交换法简介14
2情极树情取你你掉钢3去离子水(高纯水)的制备工艺15
24离子交换法制备纯水17
25纯水制备系统主要设备及工作原理19
26纯水制备系统运行控制26
27纯水制备系统的清洗27
28高纯水的测量30
小结32
注释32
习题32
第3章工业硅的生产33
31工业硅生产原理及影响因素33
32工业硅节兰识生李流生产工艺38
3问劳故田环好身3工业硅生产操作41
声四渐几34工业硅生产设备43
35生产操作及告善安全控制50
36烟气净化利用56
小结63
习题64
第4章氢气的制备和净化65
良想久永回 41氢气的修及书判层场困指简介65
42氢气的生产工艺68
43氢气的净化、储存和运输71
44氢气的安全使用73
学 小结75
习题75
第5章液氯的汽化76
51氯气的性质76
52液氯的汽化77
53氯的存放和安全使用79
小结83
习题84
第6章氯化氢的合成85
61氯化氢的性质85
革副换剧实飞新 62氯化氢的合成原理85
63氯化氢合成余三判套际节工艺过程86
64主要设备及其作用86
画错倒请矿杂65工艺条件选择和操作要点87
66质量控制要点8北8
67安全控制89
小结89
习题89
第7章三氯氢硅的合成90
71三氯氢硅制备原理90
72三氯氢硅合成工艺流程90
73三氯氢硅亚范问染失酸武慢合成的主要设备91
74三氯氢硅合成的工艺条件94
75生产现场操作要点97
小结98
习题99
落根识缺装主 第8章三氯氢硅的提纯100
81三氯氢硅中杂质含量的分析100
82提纯三氯氢硅的方法简介102
83精馏的世答济县基本概念102
84双组分溶液的气液相平衡107
85精馏原理112
86精馏塔的物料衡算--操作线方程116
87双组分连续精馏过程的计算126
88精馏提纯设备139
89精馏工艺145
小结151
习题151
第9章三氯氢硅氢还原制备高纯硅152
91三氯氢硅氢还原的原理及影响因素152
92三氯氢硅氢还原的工艺155
93三氯氢硅氢还原操作要点及事故处理157
94三氯氢硅氢还原工艺质量要求159
95三氯氢硅氢还原工艺中的计算159
96还原生产中的热能综合利用160
小结161
习题161
第10章还原尾气干法回收工艺162
101重要作用和意义162
102干法回收的工艺过程163
103四氯化硅的氢化165
小结169
习题169
第11章硅芯的制备与腐蚀170
111硅芯的制备170
112硅芯腐蚀175
小结176
习题177
第12章硅烷法制备高纯硅178
121硅烷的概述178
122原料的制取及处理180
123硅烷的发生184
124硅烷的提纯189
125硅烷热分解制备多晶硅191
小结193
习题194
参考文献195