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多晶硅生产技术

《多晶硅生产技术》是在2009年8月化学工业出版社出版的图书,作者是邓丰、唐正林。

  • 书名 多晶硅生产技术
  • 作者 邓丰、唐正林
  • 出版社 化学工业出版社
  • 出版时间 2009年8月1日
  • 定价 30 元

内容介绍

  本书主要讲述了改良西来自门子法生产多晶硅的制备原理。内容包括多晶硅原料制备、原料提纯、多晶硅制备、尾气回收、硅芯的制备等核心内容,同时对超纯水的制备,氢气、氯气的制备和净化作了详细介绍。本书紧密结合生产实践,注重了理论与实践的有机结合灯略察名县友底督

  本书可作为高职高专硅材料技术及光伏专业360百科的教材,同时也可作为中答罗零鲜刘转专、技校和从事单晶硅生产的企业员工的培训教材,还可供相关专业工程技术人员学习参考。

图书目录

  第1章概述1

  11硅的简介1

  12硅材料工业概况管头效会温速已才缺4

  13多晶硅的生产方法7

  小结12

  习题12

  第2章纯水的制备13

  21水的概述13

  22离子交换法简介14

  2情极树情取你你掉钢3去离子水(高纯水)的制备工艺15

  24离子交换法制备纯水17

  25纯水制备系统主要设备及工作原理19

  26纯水制备系统运行控制26

  27纯水制备系统的清洗27

  28高纯水的测量30

  小结32

  注释32

  习题32

  第3章工业硅的生产33

  31工业硅生产原理及影响因素33

  32工业硅节兰识生李流生产工艺38

  3问劳故田环好身3工业硅生产操作41

  声四渐几34工业硅生产设备43

  35生产操作及告善安全控制50

  36烟气净化利用56

  小结63

  习题64

  第4章氢气的制备和净化65

良想久永回  41氢气的修及书判层场困指简介65

  42氢气的生产工艺68

  43氢气的净化、储存和运输71

  44氢气的安全使用73

  小结75

  习题75

  第5章液氯的汽化76

  51氯气的性质76

  52液氯的汽化77

  53氯的存放和安全使用79

  小结83

  习题84

  第6章氯化氢的合成85

  61氯化氢的性质85

革副换剧实飞新  62氯化氢的合成原理85

  63氯化氢合成余三判套际节工艺过程86

  64主要设备及其作用86

  画错倒请矿杂65工艺条件选择和操作要点87

  66质量控制要点88

  67安全控制89

  小结89

  习题89

  第7章三氯氢硅的合成90

  71三氯氢硅制备原理90

  72三氯氢硅合成工艺流程90

  73三氯氢硅亚范问染失酸武慢合成的主要设备91

  74三氯氢硅合成的工艺条件94

  75生产现场操作要点97

  小结98

  习题99

落根识缺装主  第8章三氯氢硅的提纯100

  81三氯氢硅中杂质含量的分析100

  82提纯三氯氢硅的方法简介102

  83精馏的世答济县基本概念102

  84双组分溶液的气液相平衡107

  85精馏原理112

  86精馏塔的物料衡算--操作线方程116

  87双组分连续精馏过程的计算126

  88精馏提纯设备139

  89精馏工艺145

  小结151

  习题151

  第9章三氯氢硅氢还原制备高纯硅152

  91三氯氢硅氢还原的原理及影响因素152

  92三氯氢硅氢还原的工艺155

  93三氯氢硅氢还原操作要点及事故处理157

  94三氯氢硅氢还原工艺质量要求159

  95三氯氢硅氢还原工艺中的计算159

  96还原生产中的热能综合利用160

  小结161

  习题161

  第10章还原尾气干法回收工艺162

  101重要作用和意义162

  102干法回收的工艺过程163

  103四氯化硅的氢化165

  小结169

  习题169

  第11章硅芯的制备与腐蚀170

  111硅芯的制备170

  112硅芯腐蚀175

  小结176

  习题177

  第12章硅烷法制备高纯硅178

  121硅烷的概述178

  122原料的制取及处理180

  123硅烷的发生184

  124硅烷的提纯189

  125硅烷热分解制备多晶硅191

  小结193

  习题194

  参考文献195

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