微等离子体

微等离子体是被限制在一个有限的空间范围内 (尺度为毫米量级甚至更低 )的等离子体，兼具了常规等离子体的一些特性，但由于放电尺寸缩小到毫米量级甚至更低,使得微放电等离子体通常能够运行在大气压条件下。

• 中文名 微等离子体
• 性    质 离子体
• 放电功耗在 5~25W 之间
• 石英板中宽度 为200~500um

分类

基带诱导微等离子体

　　由一块介质板， 一根带状电极，一块接地平板电极，以及产生等离子体的放电间隙组成。 放电间距一般为 0 . 2~ 0 . 5mm。 2. 45GH z的微波通过一根同轴电缆由 S MA接头导入。

　　微波带技术的使用不仅可以将微波精确指向间隙区， 同时也减少了不必要的外空间辐射损失， 有利于耦合效率的提高，从而获得高密度等离子体。

容性耦合微等离子体

　　容性耦合等离子体放电(又称 E 模式放电)，是通过匹配器和隔直电容， 将13.56MHz积款脱三配密晚的射频功率施加到两块平行平来自板电极上，使石英板中宽度为200~500um 的矩形沟槽内的He放电形成等离子体，放电功耗在5~25W 之间。

感应耦合微等离子体

　　感应耦合等离子体放电(又称 H模式放电 )的原理主要是将射频电流经由匹配电路率斤约屋强异吸促继心温传输给感应线圈，线圈通过感应形成感应电场，从而激发并维持等离子体。

　　感应耦合微等离子体系统是无电极放电，可以长时间操作而不发生任何损害，但该系统通常需要运行在低于1torr的环境下工作， 因而限制了其应用。

介质阻挡微等离子体

　　360百科介质阻挡放电也被称为无声放电，通常由两个平行电极组成，其中至少有一个电极表面覆盖有电介质，当两极间加上交流高压或脉冲时，两极间的气体被击穿发生介质阻挡放电。

　　介质阻挡放电是低温等离子体，可以在大气压下低功耗、低气体消耗关影岁富载洋下操作，在发展便携式小型仪器方面有得天独厚的优势。

毛细管微等离子体

　　电介质毛细管覆盖在一个电侵张联难贵力太计格歌极表面或同时覆盖在两个电极表面酸整除某，毛细管的直径从 0 . 01~ 1mm不等， 长度-直径比值从 10： 1到 1 ： 1 。在高气压下放电时，毛细管末端产生高强度等离子体射流，形成等离子体电极。

　　频率对毛细管放电有着很大的影响，该频率值与长度-直径比值和工作气体有很大关联，毛细管放电找口高有很好的均匀性。

微空心阴极微等离子体

　　微空心阴极采用细圆筒空心电极为阴极，空心阴极的孔径尺寸为鲁始孩板快火亚毫米量级。在微空心阴极放电过程中， 双极场势阱的束缚使雨究是得大部分电子被约束在放电腔中，寿命得以延长， 这有利于增旧处水七千手才落服加背景气体的电离，提高等离子体密度。

　　该结构也称"微腔放电"或"微结构点击放电"。

优势

　挥额剂湖敌静全别划纪甚　1. 无需常规等离子体使用的真空系统，不仅节省成本，也省去了大量的真空获取时间

　　2. 微等离子体气体消耗和能量耗费低，因此操作费用低，容易开发价格低廉克市联称损字黄而职评密的仪器

　　3. 微等离子体放电同样遵循帕邢定律，因此运行在大气压条件下的微等离子体装置轻巧、便携

　　4. 与常规等离子体相比，微等离子体有更高的等离子体密度和更好的稳定性

应用

　　微等离子体的应用十分广泛，涵盖了各行各业。