真空技术是指利用特殊设备制造和维持一定真空度的技术,其原理是通过对容器内气体分子数密度的控制,使压力降低到较低水平,从而达到减少或避免气体分子干扰的目的。
真空技术可分为机械泵稠油气脱附法、吸附介质法、分子泵技术、一级吸气泵技术等不同类型,每种技术都有着不同的特点和适用范围。
真空技术的主要设备有真空泵、真空表、真空阀、透明设备、真空度检测仪等。其中真空泵是真空系统中最为重要的设备,其种类繁多,包括机械泵、扩散泵、分子泵、离子泵等。同时,真空度检测仪也是真空技术中必不可少的装置,主要用于监测真空系统工作的状态和性能,以判断其中是否存在漏气、污染等问题。
真空技术在科学研究、医学、电子、光学、生物化学、航空航天、半导体等领域得到了广泛应用。比如在电子工业中,如集成电路制造过程中就需要真空气氛下进行,以保证半导体器件的质量。在生物、医学领域中,如人工呼吸器和电子显微镜等设备也广泛运用了真空技术。
随着科学技术的不断发展,真空技术也不断更新换代,当前主要的发展趋势包括:高真空度技术的提升、深度清洗技术的应用、超高真空度的实现、基于 MEMS 或纳米技术的微型真空系统的开发等。这些发展趋势都是为了更好地满足各个领域中对于高品质、高效率的真空技术需求而不断改进的。