光阻是什么 什么是光阻

1、什么是光阻

光阻是一种半导体制造过程中使用的化学物质，通常是一种涂布在硅片表面的光敏聚合物，它可以用来定义芯片的图形和结构。

在半导体工艺中，光阻主要用来制作掩膜。掩膜是用于定义后续步骤的图形，一次曝光后，它可以保留或去除覆盖区域的光阻。这一步将在芯片制造的所有阶段中重复进行数百次。

2、光阻的种类

在不同的半导体工艺中，涂覆不同的光阻。根据其化学形式，光阻可以分为几种：

① 基础光阻：由具有光敏特性的单体聚合成的线性或分支聚合物形成。

② 扩散增感光阻：在基础光阻中加入增感剂，可以增加曝光灵敏度，从而在曝光时间和曝光能量水平较低的情况下提高操作效率。

③ 多层光阻：根据制造工艺的需要，堆叠不同类型的光阻。

3、光阻的工艺流程

在半导体工艺中，使用光阻制定图形的过程可以描述为以下步骤：

1）将硅片表面涂覆上一层光阻；

2）在光阻表面上通过掩膜所形成的图形，通过紫外线曝光将光阻暴露在图形部分；

3）在暴露的区域中将光阻去除；

4）在未暴露的区域中进行硅片的加工过程（如化学浸蚀等）。

4、光阻的应用

光阻被广泛应用于半导体制造，从芯片制造到平板显示器到LED制造等领域。它是高分辨率制造的基础。除此之外，光阻还可用于印刷电路板和MEMS制造，以及其他需要制定精密图案的行业和领域。