su-8是什么 什么是SU-8？

1、su-8是什么

SU-8是一种负型光刻胶，由日立化成公司开发，并于1991年首次推出。SU-8具有一系列出色的特性，包括高分辨率、高对比度、低表面能、高稳定性和高耐化学性，因此被广泛用于微电子学、光学和微纳加工领域。

SU-8的分子结构是由松下和竹内等人在20世纪80年代初期发明的，最初是作为电路板等电子零件的绝缘材料使用。后来，随着微纳加工技术的发展，SU-8被用作微流体芯片、纳米光学器件、微机电系统（MEMS）和生物芯片等微系统的重要材料。

2、SU-8的特点及应用

SU-8作为一种高性能的负型光刻胶，具有多种特点：

1. 高分辨率：SU-8具有高分辨率，其最小线宽可以达到1μm以下，而且线宽的误差较小。

2. 高对比度：SU-8的对比度非常高，可以轻松获得良好的图案。

3. 低表面能：SU-8的表面能较低，其表面张力比水小得多，可防止微流体芯片中的液体意外流失。

4. 高稳定性：SU-8具有良好的稳定性，可以长时间保存，并且加工后的图案可以在多种环境中保持稳定。

5. 高耐化学性：SU-8对酸、碱、有机溶剂等具有较好的耐受性，可在多种条件下使用。

SU-8的应用非常广泛，常见的应用包括：

1. 微流体芯片：SU-8可以用于制作微流体芯片的微通道和微孔，在生物医学、化学分析等领域有着广泛的应用。

2. 纳米光学器件：SU-8可以用于制作多种的光学器件，如光波导器件、滤波器、反射镜等。

3. 微机电系统（MEMS）：SU-8可以用于制作微机电系统中的微结构件、传感器等。

4. 生物芯片：SU-8可以用于制作生物芯片中的微结构，如微阵列、生物细胞培养模板等。

3、SU-8的加工流程

SU-8的加工流程通常包括以下步骤：

1. 制备基底：首先，需要准备一个适合加工的基底，它可以是硅片、玻璃片等。

2. 基底处理：处理基底表面，去除表面的油污和杂质等，以保证SU-8能够牢固地附着在基底上。

3. SU-8涂覆：将SU-8涂覆在基底上，可以通过旋涂、刷涂等方式进行涂覆。

4. 烘干预处理：将涂覆了SU-8的基底放在烘箱中，根据具体的SU-8型号进行热处理，目的是将SU-8薄膜挥发殆尽，增加其黏附性。

5. 硬烤曝光：将烤干的SU-8薄膜放置在紫外线曝光机中进行曝光，以获得所需的图案。

6. 显影剥离：使用合适的显影液将未曝光的SU-8薄膜洗掉，获得所需图案。最后，将基底处理一遍，去除残留物质，并加以保护处理后的图形。

4、未来趋势及发展

SU-8作为微纳加工领域的一种重要材料，目前已经得到了广泛的应用，但是其发展仍然不断向前。

未来，SU-8的发展趋势主要是：

1. 速度和厚度：随着工艺水平的不断提高，SU-8工艺的速度和加工的厚度也将不断提高。

2. 功能化：SU-8将进一步向多功能化发展，而非仅仅作为一种材料存在。未来，SU-8也将借助新材料的进步，实现更多新的应用。

3. 生物医学：SU-8将进一步在生物医学领域得到应用，例如用于制造微型芯片和药物传递系统等。此外，SU-8还可以制造作为生物体外和体内检测设备的生物传感器。

4. 新领域：SU-8的应用范围不断扩大，目前还有很多领域等待挖掘。因此，未来SU-8还将在更多新领域得到应用。