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谷底导通是什么 谷底点通的含义是什么

1、什么是谷底导通?

谷底导通,英文名为Trench Capacitance Coupling,简称TCC,是指在CMOS图像传感器封装过程中,通过堆叠多层金属线和硅基本体来实现电路之间的互连。谷底就是两个金属线间的沟槽部分,而导通就是通过谷底连接两个金属线的电容耦合。

传统的线宽只能达到几十微米,难以满足越来越高像素、更小封装的需求。而谷底导通技术可以通过利用谷底的空间,来增加线间距和连线数量,大大提高了像素密度,同时还能降低传输线功耗和排布面积。

2、谷底导通的优点

相对于传统的接线方式,谷底导通技术有以下优点:

1)提高像素密度:在相同的像素数和芯片尺寸下,谷底导通技术可以把线与线之间的开孔部分缩小到原来的1/3,达到更高的排布密度,从而实现更高的像素密度,提高了图像分辨率。

2)降低线路电容:谷底的沟槽结构,实现了线路中两个线之间的电容耦合,从而在电信号传输时大大降低了线路电容,提高了传输速率。

3)降低功耗:电流的流动路径更短,如同减短了输水管路,进而达到降低功耗的目的。

3、谷底导通的制作工艺

谷底导通的制作首先需要多层晶圆,通过光刻、蚀刻、沉积等制程,将电极沟槽部分逐层制备。制作过程中需要控制良好的坡度、深度、平整度等多项指标,以保证上层电极的制备成功。

由于谷底导通技术是一种高度集成化的封装方案,还需要考虑与芯片本身的适配、金属线材料的选取、封装材料的性能等多种因素,以提高封装的可靠性和稳定性。

4、谷底导通在图像传感器中的应用

目前,谷底导通技术已经成为CMOS图像传感器的主流封装方案,尤其在手机相机领域有着广泛的应用。

随着人们对图像质量和像素密度的要求越来越高,谷底导通技术也在不断发展和升级。比如近年来,还提出了基于谷底导通技术的全新未来封装方案——“梳状线路封装技术”,在保证封装致密性、可靠性的同时进一步提升了像素密度和传输速率,为下一代高清图像传感器的发展带来了无限想象空间。

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