微纳传感器是一种能够感知、检测和测量微观信息的物理、化学或生物量的专用传感器。
它利用微电子技术和微机电系统技术将传感器的敏感元件制造成微米或纳米级别,大大降低了传感器的尺寸、重量和功耗,同时提高了灵敏度和响应速度。
微纳传感器广泛应用于物理、化学、生物、医学、环境、生产和安全等领域。
其中,物理领域的应用包括加速度计、陀螺仪、压力计、气体流量计等;化学领域的应用包括气体浓度传感、化学品检测、水质监测等;生物医学领域的应用包括血糖传感器、心率监测、药物检测等;环境领域的应用包括空气污染检测、水质分析、地下水监测等;生产领域的应用包括机器人控制、智能制造、精密仪器等;安全领域的应用包括火灾报警、地震预警、恶意攻击监测等。
微纳传感器具有以下特点:
随着科技的不断发展,微纳传感器将迎来更加广泛的应用和更高的技术水平。
未来,微纳传感器将向着体积更小、功耗更低、敏感度更高、智能化更强和多功能性更丰富等方向发展,同时也将在新材料、新工艺和新应用领域上不断实现创新和突破。