首先,LPPC指的是“Low Pressure Plasma Cleaning”,即低压等离子体清洗技术。它是一种在真空环境下使用等离子体清洗表面的方法,适用于多种材料表面。
LPPC技术是一种在线清洗技术,所谓在线即指被清洗表面正处于加工状态,未经离线处理。它主要是利用一定频率的向等离子体放电,利用等离子体反应清除表面杂质和附着物,起到表面清洗的效果。
当电极间加上高压、低频电源,等离子体会在加工面及边缘形成,利用等离子体所带来的离子撞击、电子轰击以及化学反应,可以清除表面油脂,生锈、氧化物,表面缺陷等物理及化学表面污染物及薄膜。
LPPC技术的应用范围非常广泛,下面列举一些主要的应用领域:
1、半导体生产:清洗晶片表面和半导体器件。
2、光学工业:清洗镜头、光学玻璃及滤光器等光学元件的表面。
3、机械加工领域:对铣削、钻孔、车削件等表面进行清洗。
4、生物医学:清洗医疗器械表面。
5、电子电器:对电器电器组件进行表面清洗。
LPPC技术有以下几个主要的优点:
1、清洗质量高:利用等离子体反应清除表面杂质和附着物,清洗效果非常好。
2、清洗速度快:由于LPPC是在线清洗,可以避免离线清洗所带来的加工时间损失问题。
3、表面不损伤:由于采用等离子体清洗,清洗表面不会有损伤或变形现象。
4、环保清洗:LPPC清洗所使用的是低温等离子体,不会产生污染物,是一种环保技术。
LPPC技术是一种不断发展的新型清洗技术,具有清洗质量高、清洗速度快、表面不损伤、环保等优点,适用于多种材料表面的清洗。未来,它将会有更广泛的应用。