芯片设计师设计一个芯片后,需要将设计图转化成实际可执行的指令,这个过程称为芯片制造。芯片制造分为几个步骤:物理制备、化学制备、光学制备、模板制备等。其中,光刻机是芯片制造过程中必不可少的工具之一,它被用来用于图形转移到硅片上。
光刻机是通过使用UV光源和投影镜将光学图形转移至光敏光刻胶(photoresist)层,以下是它的其中一个重要因素。光刻机包括光学系统、机械系统和自动化控制系统三个模块,因此光刻机也被称为压光机。
芯片生产线上,芯片测试仪是一个关键的设备,它的主要功能是检测芯片是否按照预期的规格生产。如果芯片在生产的过程中存在缺陷,则芯片测试仪可以检测出这些缺陷,并定位到具体的制造过程,这对于实现芯片质量控制和缺陷分析非常重要。
芯片测试仪的测试种类和时间与芯片的用途和制造复杂程度相关,在测试过程中,常用的功能包括逻辑测试,存储测试,功能测试等。此外,芯片测试人员还需要根据不同芯片的需要运用测试方法,如扫描评估,节点分析方法等。
半导体制造过程需要广泛使用多种不同类型的设备来执行各种任务,这些设备包括物理设备和化学设备。其中,物理设备包括刻蚀机,薄膜沉积机,离子注入机等。化学设备包括湿式化学机器,晶圆清洗机,制造厂垃圾处理设备等。
这些设备有助于完成芯片的制作的关键环节。例如,刻蚀机是用于刻划并消除多余的材料的设备;离子注入机是用于深入材料表面注入特定材料的设备;湿化学机器是用于通过化学反应去除多余材料的设备。
机器人最早用于传统的制造业。当然,它们已经使用在狭义的芯片制造上,包括NDP(large flat panel display)和电子组件行业。机器人的优势在于高速、高精度、高可靠性和稳定性,以及更高的生产效率等。
机器人在芯片生产中的角色主要包括芯片制造过程中的材料处理,组装和测试等,这为高质量和大尺寸芯片的制造提供了支持。