ltps工艺是什么 LTPS技术的原理及应用

1、什么是LTPS工艺？

LTPS是低温多晶硅技术（Low-Temperature Polycrystalline Silicon Technology）的缩写。该工艺技术是由德国国家微电子研究所在上世纪80年代晚期开发出来的。它是一种制备薄膜晶体管（TFT）的技术，目前主要应用在手机、电视、显示器等高清图像领域。

2、LTPS工艺的优点

LTPS工艺与传统工艺相比具有很多优点。首先，它可以获得高分辨率的图像，TFT晶体管具有高透明性和高光学质量，可以实现更高的像素密度。其次，LTPS工艺制作的像素响应速度快，能够更好地还原影像。此外，LTPS工艺还可以大大提高设备的能效和使用寿命，这是因为优秀的晶体管传输性能也可以带来更好的色彩表现，更低的功耗和更长的寿命。

与此同时，LTPS工艺还非常适合生产大尺寸面板，因为其可以在较大的面积内制造出均匀、稳定且一致的晶体管。这也就使得LTPS技术在电视和电脑显示器等领域得到了广泛应用。因此，LTPS工艺可以生产出极高的品质甚至接近原色的色彩表现，以及精确的图像再现，所以广受电子生产厂商和消费者的青睐。

3、LTPS工艺的制造过程

LTPS工艺的制造过程主要是以下几个步骤：基板清洗、氧化、退火、多晶硅生长、激光晶界熔化以及TFT器件制造。其中，多晶硅的生长和晶界熔化是整个制造过程中最关键的两个环节。

在多晶硅的生长过程中，通过控制硅晶圆的温度和保护气氛中的杂质，可以制造出非常高品质的多晶硅薄膜。这种薄膜具有高透明性、高导电性和可控制的深度，可以满足各种硅晶图像的制造需要。

在激光晶界熔化环节中，通过使用激光对多晶硅进行加热，从而获得晶界升华状态并快速凝固晶界，在晶界沿线使得硅原子重新排列，以此来制造出仅具有晶界的完整的多晶硅薄膜。这种晶界的温度处理又被称为低温退火过程，同时它也是LTPS技术中最为关键的步骤之一。

4、未来的发展趋势

LTPS技术随着移动设备的迅速普及和消费者需求的改变而不断演化。未来的发展趋势主要是提高制造效率和降低成本。同时，随着4K分辨率的普及，LTPS技术将以更高效率和更低功耗的方式向更大型显示画面市场推进，如高端小尺寸电视、VR设备等领域。

总之，LTPS工艺技术是目前领先的高密度显示技术之一，不仅在图像表现方面有很大优势，还在耗电量、显示效果和品质方面具备了众多诸如亮度、对比度以及可视角度等方面的优势，因此，它是广泛应用于目前市场上显示器等领域的重要技术之一。