在扩散过程中,硅片表面需要有一层厚度较小的掺杂层,该掺杂层可以避免材料进入硅晶体内部。
对于PMOS的材料选择,相较于NMOS来说要简单得多。这是因为,NMOS需要在硅片表面掺入正离子,而正离子比负离子难以控制,这就导致制造NMOS需要更高的技术和更大的困难。
相反,PMOS要求在硅片表面掺入负离子,这种类型的材料更容易被控制,从而使得PMOS工艺相对简单。
在制造CMOS器件时,PMOS和NMOS可以组合在一起,利用单个晶体管的优点,从而减少功耗和安装面积。特别是在CMOS IC技术中使用PMOS堆叠技术,可以有效地抵消漏电流,从而提高IC的可靠性和性能。
在微影技术中,需要通过投射式光刻机器制造出非常小的芯片结构。在制造NMOS晶体管时,需要制造出几个层次的图形,每个图形都需要投射式光刻机制造一次。
相对而言,PMOS只需要少数的微影技术,因为PMOS的材料选择较为简单。这使得PMOS的工艺更容易被实现。
PMOS的工艺比NMOS更成熟。事实上,PMOS技术在几十年前就已经被广泛使用了。在发展和现代化的重要历程中,PMOS被看作是最早的半导体制造技术之一,因此关于PMOS的成熟度以及可靠性,在很长一段时间内一直被认为更高。
综上所述,PMOS工艺相对NMOS工艺来说更为简单,这是由于PMOS在材料选择、制造技术以及成熟度等方面具有更多优势。甚至在一些新型半导体制造技术出现后的当代,PMOS仍然被视为制造单片芯片和制程等领域的先锋。