VDMOS(Metal-Oxide-Semiconductor with Vertical Double-diffused structure)即垂直双扩散金属氧化物半导体器件,属于MOS场效应管的一种。它是由Gerald D. Mahan与John H. Grove于1977年首次提出。VDMOS具有低导通电阻、低漏电、高速开关、较小的尺寸等特点,使得它在高电流功率开关市场中受到广泛的应用,其中包括电源、马达驱动、照明、变换器等等。
由于其结构有所不同,VDMOS有着比DMOS更低的导通电阻。VDMOS的导通区宽度、接触电阻和底接触电极均通过工艺得到一定的优化,其漏反向特性也相对较好。DMOS的空间结构仅靠受理扩散层的抑制,通过增强漏电区,以提高反向工作电压。因此,VDMOS在高电压应用中具有很高的可靠性。
其性能优越,具有低导通电阻和高的电子迁移率,还有优秀的抑制,漏直流电阻和面积比较小的加强漏反型区。另外,在VDMOS基片的背面安排散热片,可以有效降低温度。此外,VDMOS的耐压能力强,反向击穿得到有效控制。
VDMOS的缺点是结构复杂,制造成本较高;在高温下会有漏电流的问题,这可能会损害其长期的可靠性。
由于VDMOS具有电压低、导通电阻低、开关速度快等优些特点,使得它在一些领域得到广泛应用,其中最重要的应用行业就是电源行业。当前,VDMOS已经成为了泛用电源开关的主要芯片模式之一。此外,VDMOS也广泛应用于高效电力治理、医疗和航空航天领域,这些领域都需要高性能电子和能源治理技术。