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芯片中掺杂什么作用 芯片材料掺杂的作用

1、掺杂物的类型

芯片中掺杂的物质主要分为两种:n型掺杂和p型掺杂。n型半导体中掺杂的是原子序数比硅原子多1的元素,如磷、砷等,这些元素称为施主。p型半导体中掺杂的是原子序数比硅原子小1的元素,如铝、硼等,这些元素称为受主。通过掺杂不同的元素,可以改变半导体的电性质,使其具有导电或者阻止电流流动的特性。

2、掺杂的作用

掺杂是半导体工艺中最关键的一个环节,掺杂后的芯片可以达到以下几点效果:

(1)提高半导体的导电性能:掺杂使得芯片中的电子浓度增加,因此电导率也随之增加,这样晶体管就能够在特定条件下正常工作。

(2)形成pn结:在半导体中局部掺杂受主和施主,形成p型区域和n型区域,在p区和n区之间形成的结就是pn结,这样的结构在电路设计中应用广泛。

(3)增强敏感性:用有机杂质和金属离子等物质掺杂晶体管,可以提高其敏感性,使得芯片可以被更加微小的信号刺激。

3、掺杂的工艺

掺杂工艺包括了多个步骤,主要步骤如下:

(1)准备半导体基片,将表面进行清洗。

(2)在800℃左右进行扩散处理,将掺杂物扩散进入基片内部。

(3)进行退火处理,使得掺杂物能够与晶格结合,提高效率。

(4)在芯片表面打上光刻点,加上金属掩膜,把需要保留的杂质覆盖,其余部分用酸性处理剂处理掉,形成掺杂区域。

(5)进行后续的工艺步骤,如沉积氧化物、金属蚀刻等,最终形成完整的电路芯片。

4、掺杂后的问题

在掺杂过程中,如果控制不当,会引起一些问题:

(1)掺杂浓度偏低:如果掺杂浓度太低,电导率就不能够满足芯片的要求,这会影响芯片的性能。

(2)掺杂浓度误差过大:如果掺杂浓度过高或过低,就会造成电性能的异常,严重的会导致电路无法正常工作。

(3)超过完全离子化:掺杂量过大,超出半导体原子晶格的容纳量,形成费米能级,使得掺杂的杂质不再是离子,造成电子陷阱,影响电路的可靠性和性能。

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