白光衬底用什么 白光衬底的材料选择

1、白光衬底的概念

白光衬底一般指具有高反射率，且表面光滑的衬底材料，可以用于制备各种微电子元器件，如发光二极管（LED），太阳能电池等。白光衬底能够提高器件的亮度和能量转换效率。

2、白光衬底的选择

目前市面上常用的白光衬底材料有蓝宝石（sapphire）、氧化铝（alumina）、氮化铝（aluminum nitride）和二氧化硅（silicon dioxide）等。

蓝宝石是一种高硬度的透明材料，具有优异的绝缘和光学性能。但其价格较高，同时也存在晶格匹配问题，容易导致晶体缺陷。

氧化铝是一种较为常用的白光衬底材料，具有较高的热导率，良好的绝缘性和稳定性，价格相对较低。但其折射率较高，容易导致光学偏振现象。

氮化铝和二氧化硅也常用作白光衬底材料，它们具有优良的绝缘性，光学透明性和热稳定性。二氧化硅衬底是硅集成电路的首选衬底材料，应用范围广。

3、白光衬底的制备工艺

白光衬底的制备主要包括物理气相沉积（PVD）和化学气相沉积（CVD）两种方法。

PVD方法主要是通过稀薄金属沉积在衬底表面，利用高温驱动金属向表面扩散的方法来制备白光衬底。这种方法制备出的衬底表面光洁平整，但同时也存在成本高，需额外使用昂贵的设备等缺点。

CVD方法主要是利用气体化学反应制备白光衬底，该方法制备成本相对较低且适用于大规模的生产，同时也适用于不同衬底材料的制备。但同时也存在气体中毒和沉积效率低等缺点。

4、白光衬底的应用

白光衬底具有广泛的应用前景，在光电领域中广泛应用。其中LED是最常见的，在LED制备中，白光衬底运用可以大大提高LED的发光亮度和颜色纯度，提高LED的综合技术水平。此外，白光衬底还可以应用于太阳能电池、半导体激光器、微光电子器件等领域。