Black pad是一个特殊的现象,通常在芯片生产过程中由于锅炉中的温度不均匀而引起。它是一个黑色的薄层,在硅片上出现,会严重影响芯片的质量和性能。
这种黑色氧化物是由于硅片与锅炉中的空气和水蒸气之间的化学反应产生的。这会导致芯片表面形成一层厚厚的带电氧化物。这些氧化物与其他的化学物质相结合,形成黑色的氧化物,这种黑色氧化物被称为“黑色的粘板”。
Black pad的出现会导致芯片的电性能变化,特别是偏置电流和信噪比等参数。黑板还会降低产品的寿命,从而对芯片制造企业造成经济损失。因此,芯片制造公司都致力于避免出现黑板现象。
黑板现象的出现是不可逆的,一旦出现就必须把芯片舍弃。此外,黑板现象在后期测试和可靠性测试中都会被发现。因此,在芯片制造过程中,必须对生产过程进行精密控制,以避免出现黑板现象。
为了避免黑板现象的出现,芯片制造企业需要进行以下方面的控制:
1.肉眼检查-检查硅片表面是否有异常;
2.原材料控制-控制砷、锑等杂质的含量;
3.化学处理-控制温度、酸碱度、时间等参数;
4.金属衬底控制-控制金属衬底的形状和质量;
5.设备控制-控制设备的性能和参数;
6.工艺控制-控制硅片制造过程的各个环节。
Black pad的名称最早是由飞利浦的工程师所命名的。尽管黑板现象已经存在了一段时间,但在20世纪90年代中期才引起工业界关注。在芯片产业里,它成为一个重要的技术挑战,推动了芯片制造过程和芯片测试技术的进步。
在避免黑板现象的研究中,很多新的技术也随之产生,例如改变锅炉温度梯度、权衡化学处理和金属衬底控制、控制硅片的结晶方向和技术等等。这些技术的发展不仅解决了黑板现象的问题,还促进了芯片制造过程的进步。