ITO电极是一种透明导电氧化物薄膜。其全称为铟锡氧化物电极(Indium Tin Oxide Electrode),通常是在玻璃或塑料基材上生长的一种高透过率(85%~97%),低电阻率的氧化物,具有优良的导电和光学性能。ITO电极被广泛应用于化学传感、光电输运、光电阻等领域。
ITO电极的制备方法可以分为物理方法和化学方法两种。
物理方法指的是利用物理气相沉积、磁控溅射等方法,在基材上沉积ITO薄膜。这种制备方法具有高纯度、薄膜致密性好等优点,但成本相对较高。
化学方法主要通过水热法、气氛热法、溶胶-凝胶法等制备ITO电极。其中,水热法是一种常用的制备方法,采用水热反应合成ITO粉末,然后利用某些浸渍方法在基材上制备ITO薄膜。化学方法的制备成本相对较低,但它的薄膜晶体质量和致密性较物理方法要差一些。
ITO电极的特性主要包括透明性和导电性两方面。
透明性方面,ITO电极的透过率在可见光范围内达到85%~97%,且在紫外光和红外光范围内透明度也很高,同时ITO电极具有较高的抗划伤性能。
导电性方面,ITO电极的电阻率通常在10^-4~10^-3Ω cm之间,具有较好的电导率,电压稳定性好,对于直流和交流电的响应都很快,也对高温和潮湿环境具有良好的稳定性。
ITO电极具有优良的透明度和导电性能,在化学传感、光电输运、光电阻等领域有着广泛的应用。
化学传感方面,ITO电极可用于气敏传感器、光学传感器等器件的制备;
光电输运方面,ITO电极可用于有机发光二极管(OLED)和有机太阳能电池中提高设备效率;
光电阻方面,ITO电极可用于液晶显示器、触摸屏等电子产品中的导电层。