什么是Mems 它有哪些特点 Mems技术及其特点简介

什么是MEMS

MEMS是微机电系统（Micro Electro Mechanical Systems）的缩写，是一种微纳技术，是将微型零部件集成在一起以形成系统。

即MEMS在尺寸上比微型部件小，晶圆制造技术和集成电路技术类似，而操作和控制微部件的信号和功率却更适合于机电系统的方法。

MEMS的特点

1、尺寸小：MEMS器件的尺寸非常小，通常在0.1微米到几毫米之间，这使得它们可以轻松地集成成多个组分的微型系统，可应用于各种小型便携式设备。

2、集成度高：MEMS器件将传感器、执行器、电路和计算功能融合为一体，实现了高度的集成度。这种小型化的系统具有高性能、低功耗和低成本等优点。

3、低功耗：MEMS器件的小尺寸和集成度高导致相应的功耗较低，从而增加了其在更广泛的应用中的可靠性和经济性。

4、高灵敏度：MEMS器件具有极高的灵敏度，可感测很小的物理量或运动，如压力、加速度、力、化学物质等，并且可以反馈高质量的信息。