MEMS，即微电子机械系统，是集微电子技术、微机械加工技术和传感技术为一体的全新领域，这些系统常常包括微型机械结构、微感应器、微执行器和微驱动器。MEMS设备一般在毫米到微米的尺寸范围内，其制造难度较高，需要严格的微纳加工技术和压力控制技术，预算高于普通电路。MEMS被广泛应用于传感器、生物医学、光学、电力、计算机以及其他固体机构控制领域。
MEMS设备的分类可以根据其应用、制作工艺、结构形式等多种方式进行。按照结构形式，可以分为加速度传感器、惯性导航系统、压力传感器、温度传感器、微波电子器件、光机械系统等；按照制作工艺，可以分为硅微加工、薄膜技术、光刻技术等；按照应用领域，可以分为生物医学、环境监测、汽车电子、智能家居等。MEMS设备的分类具有极为广泛的层式结构，往往与其应用领域息息相关，不同的MEMS设备也往往有着不同的制作工艺和物理机制。
MEMS设备最主要的优势就是其微型化特性，与传统机械设备相比，MEMS设备具有结构紧凑、体积小、重量轻、能耗低、精度高、快速响应、高可靠等特点，可以使得传感器、执行器等设备具有更高的性能和更广泛的应用范围。MEMS设备另一个优势就是制作技术成熟，具有高度的可重复性和一定的自动化程度，可以实现大批量生产，降低生产成本，提高生产效率。
MEMS设备的应用范围越来越广泛，包括传感器、生物医学、机器人、汽车电子、安防监控、智慧城市、航空航天、光学等多个领域。其中，MEMS传感器在机械、汽车、生物医学等领域得到广泛的应用，可以测量物体的加速度、角度、压力、温度、湿度和气体浓度等参数，被广泛应用于汽车、移动设备、消费电子、智能家居等领域； MEMS生物医学器件是将微机械和医学技术相结合的产物，具有微创治疗、无创检测、生命参数监测等特点，常用于人体内微小的治疗、诊断、分析等方面。
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