集成电路硅片厂用什么样的中央空调 集成电路厂房如何制定中央空调方案

1、集成电路硅片厂需要什么样的中央空调？

为了保证集成电路硅片的生产质量，确保制造流程的稳定性，中央空调在硅片厂中扮演着非常重要的角色。与普通办公楼和商场相比，硅片厂需要更为高效、稳定、精准地控制室内温度、湿度、洁净度等各种环境参数，故需要一些特殊的中央空调系统。

2、温度控制

在集成电路的制造过程中，硅片需要长时间地暴露在极高的温度条件下，因此保持室内稳定的温度也是非常关键的。常规的中央空调的控制精度往往难以满足硅片厂的要求，因此需要采用更为高端、准确的控制系统，如风冷蓝光技术或是精密空调等。

此外，硅片厂内部还存在着许多走廊和分支间，这些隔间的温度控制也需要相应的空调系统进行控制，以确保整个厂房内的室温一致性。

3、湿度控制

硅片制造中对空气湿度的要求也非常高，即使微小的湿度变化也可能对产品质量产生不利影响。为此，硅片厂需要更为科学的湿度控制系统，以确保室内空气的湿度稳定在硅片加工的最佳区间内。通常采用的方法是，在中央空调系统中加入湿度控制设备，进行精确的调控。

4、洁净度控制

空气中细小颗粒的存在可能对硅片制造产生非常严重的影响，在硅片制造厂中必须采用高效的过滤设备，以过滤空气中的尘埃颗粒。空调系统中常用的过滤装置包括初效过滤器、中效过滤器、高效过滤器等。这些过滤器的净化效果越好，未来硅片的质量和抗老化能力也就越高。

同时，在空气进入机房之前，需要进行预处理，以确保其不含有对硅片加工产生影响的化学成分，通常采用不同级别的化学过滤装置对空气进行处理，以增加室内空气的洁净度。