当前位置:首页 > 问问

mask在半导体领域叫做什么 半导体领域中的mask叫什么?

1、概述

Mask在半导体领域中也叫掩膜,是用于制作芯片的重要工具。掩膜是指覆盖在晶圆上的光刻层,是一种能够屏蔽掉一些光线的物质,从而在芯片的制作过程中让光线只照射到需要加工的部分,从而保证芯片的制作精度。

2、Mask的种类

在半导体制作的过程中,Mask种类分为原位掩模和光刻掩模两种:

原位掩模:又叫直接掩模,是半导体制造过程中的原始掩模,通过激光或电子束直接照射到掩膜上进行加工,在制造大芯片的过程中效率比较低;

光刻掩模:是借由专业的光刻机器对掩膜进行加工处理,从而生产出用于半导体制作的掩模。它可以分为高级掩膜和普通掩膜,高级掩膜使用的是487.2 纳米的波长,而普通掩膜使用的则是365 纳米和248 纳米的波长。

3、Mask的制造过程

Mask的制造过程十分繁琐,如下:

1、原片制备:根据芯片的设计要求,制备掩膜玻璃基板。

2、图案处理:将芯片的设计图案输入至光刻机中进行处理,制作出掩膜的图案。

3、光刻:使用光刻机对前一步生成的掩模图案进行曝光、显影等处理,同时使用特定蚀刻液对玻璃基板进行蚀刻处理。

4、清洗:对处理的掩膜进行清洗处理,确保其完美无瑕。

4、Mask的应用范围

Mask是半导体制作的必要工具,想要生产出高品质的芯片就必须要使用Mask,他被广泛应用于各种领域,比如5G通讯、汽车、人工智能等领域的芯片制造过程中,Mask是不可或缺的一部分。

声明:此文信息来源于网络,登载此文只为提供信息参考,并不用于任何商业目的。如有侵权,请及时联系我们:fendou3451@163.com
标签:

  • 关注微信

相关文章