在半导体行业中,晶圆是制造芯片的关键材料。而12寸晶圆是目前最常用的规格。那么12寸晶圆的原料是什么呢?本文将从以下几个方面进行阐述。
硅是制造晶圆的主要材料。而硅单晶是最常用的硅材料,因为它具有较高的单晶纯度和热动稳定性,能够提供较高的材料可靠性和制造工艺控制性。硅单晶是在高温下通过从熔融硅溶液中拉出单晶棒而得到的。
硅单晶的制备过程非常复杂,需要控制温度、压力、半径等多种参数。制备好的硅单晶可以被切割成较薄的晶片,然后进行制造晶圆的加工,如抛光、薄化等。
除了硅单晶,制造晶圆还需要一些掺杂原料,以调整硅晶体的电性能。例如,掺入硼(B)可以形成p型半导体,掺入磷(P)可以形成n型半导体。
此外,为了提升晶圆特定属性,还会掺入其他元素如锗、铝、镓、砷、硅等,这些元素能够对硅晶体的电学特性、光学性质等进行改变。
在制造晶圆的过程中,需要使用一系列化学材料如氧化铝、氮化硅、氮含有化合物等,以及高纯度的各种气体如氮气、氧气、氟气等。
这些化学材料和气体需要经过严格的杂质去除和纯化处理,以确保其不会对晶圆产生影响。
总之,12寸晶圆的制造材料涉及硅单晶、掺杂原料、化学材料和高纯度各种气体等多种材料。只有所有材料都经过严格的纯化和处理,才能保证晶圆的质量、特性和可靠性。