什么是频率扫描超外差 频率扫描超外差的定义和原理

1、频率扫描超外差的定义

频率扫描超外差是一种光学干涉仪测量技术，利用频率扫描激光器产生的光束，将其分成两路并经过样品后再合并，然后通过检测两路光之间的干涉信号来测量样品的距离、形态、粗糙度等参数。

2、频率扫描超外差的原理

频率扫描超外差的核心部件是频率扫描激光器。激光器发出的光，经过光学系统分成两束，一个束经过光学系统直接到达干涉仪的参考光路，另一个束经过样品后再到达干涉仪的待测光路，两路光束在干涉仪内产生干涉，并被光电探测器测量。此时，由于样品对光的反射、透射以及散射等作用，待测光路的光程会发生变化，从而引起干涉光信号的波形、相位和强度的变化，进而得到样品的信息。

3、频率扫描超外差的优点

与其他测量技术相比，频率扫描超外差具有以下优点：

（1）可以测量非常小的距离范围，通常可达到亚纳米级别；

（2）测量速度快，可以实现微米级别的高速测量；

（3）具有较高的测量精度，通常为亚米尺度的测量误差。

4、应用场景

频率扫描超外差在多个领域都有广泛应用，例如：

（1）制造业：应用于各种形状和材料的零部件的形状和表面粗糙度测量；

（2）医疗：应用于眼科等领域的生物组织测量；

（3）航空航天：应用于航空发动机等高精度零部件的检测；

（4）晶体材料研究：应用于晶体的形态和厚度等参数测量。