MOS管是一种基于场效应原理的半导体器件,其核心是栅 - 源 -漏结构,
具有高输入电阻、低静态功耗、高可靠性等优点,在数字集成电路和模拟电路中广泛应用。MOS管的工作原理主要是依靠栅极的控制电压来控制漏极与源极之间的电流流动,这个电流流动通常称为栅级电流。
加大栅级电流会使得栅极附近的电场更加强烈,而过大的电场会使得栅边缘附近的氧化层破裂,形成短路现象,使得栅极与源极或漏极之间导通,从而导致器件失效。此外,增大栅级电流会使得在MOS管不同区域间的电荷不平衡,进而影响漏极电流、迁移率等参数,从而会加速MOS管的老化和失效。
栅级电流增大可以由诸多因素引起,比如过大的输入信号电压、长时间高温暴露、电子迁移等。其中注入金属离子是导致栅级电流增加的主要杀手之一,这些离子可以被各种方式注入到MOS管栅极附近,如电阻炉退火、电离辐射、快速退火等,其中,快速退火是注入金属离子最有效的途径之一。
为了降低栅级电流的大小,可以采取以下措施:1)优化半导体材料的工艺过程,减少金属离子的生成和注入;2)优化MOS管的表面和结构,使得栅极附近的氧化层更加均匀、致密,从而避免短路现象的发生;3)采取降低输入电压、限制工作温度等措施来降低器件的电场强度,减少栅级电流增大的风险。