二氯硅烷

二氯硅烷易燃，其蒸气能与空气形成范围广阔的爆炸性混合物。遇热源和明火有燃烧爆炸的危险。与卤素及其它氧化剂剧烈反应。遇水或水蒸气剧烈反应，生成盐酸烟雾。

• 中文名 二氯硅烷
• 化学式 H2Cl2Si
• CAS登录号 4109-96-0
• 分子量 101.01
• 英文名 dichlorosilane

分子结构

二氯硅烷分子结构

基本信息

　　中文名称:二氯硅烷

　　英文名称:D来自ichlorosilane

回杆配将电　　别名:4-甲苯基硫脲 对甲基苯基硫脲

　官兰杨主以谁岁　更多名称:4-Tolythiourea p-Methylphenylthiourea 4-Methylphenylthiourea

　　CAS号:4109-96-0

　　分子式:Cl2Si

　　分子量:98.9915

物性数据

　　1.性状：无色气体，有特护须片征气味。[1]

　　2.的行娘熔点（℃）：-122[2]

　　3.沸点（℃）：8.3[3]

　　4.相对密度（水=1）：1.26[4]

来自　　5.相对蒸气密度（空气=1）：3.48[5]

　　6.饱和蒸气压（kPa）：划163.6（20℃）[6]

　　7.临界压力（Mpa360百科）：4.55[7]

客之担雷　　8.辛醇/水分配系数：1.150[8]

　　9.闪点（℃）：-55[9]

　　10.引燃温度（℃）：41~47[10]

　　11.爆炸上限（%）：96.0[11]

　　重老12.爆炸下限（%）：4.1[12]

　　13.溶解性：溶于苯、乙醚等多数有机溶剂。[13]

存储方法

　　储存注意事项[20] 储存于阴凉、通风的有毒气体专用库房。库温不宜超过30℃。远离火种、热源。包装必须密封，切勿受潮。应与曲氧化剂、碱类、醇类、食用化学品抓分开存放，切忌混储。采用防爆型照明、通风设施。禁止使用易产生火花的机械设备和工具。储区应备有泄露应急处理设备。

合成方法

　　1.将硅粉和氯化氢按适当比例曾罪沉圆农进行反应，生成二氯二氢硅，经蒸馏分离三氯氢硅，把得到的二氯二氢硅进行精升沉回神备脱找镇通响制，制得电子级高纯二氯二氢硅成品。

　　2.将27.1g SiHCl3与3.7g Bu3N在常压下回流40h，即得到产品。产物用置于干冰浴上的接收器收息国过练少对集。产率可达到7.3%。

　　3.将硅粉和氯化氢按适当比例进行反应，生成二氯二氢硅，经蒸馏分离三氯氢硅，将得到的二氯二氢硅进行精制，制得电子级高纯二氯二氢硅成品。其反应式如下：

主要用途

　　1.用于制造半导体，尤其是在外延法工艺中作为硅源。二氯二氢硅主要用于多晶硅外延生长以教控学省洲团罗及化学气相沉积二氧化硅和氮化硅。它的硅含量比三氯氢硅和四氯化硅高，二氯二氢硅沉积硅更有效，且淀积温度比其他氯硅烷低。采用二氯二氢硅在降低温度下沉积厚层所需时间大大低于采用硅烷所需时间。由于二氯二氢硅的沉积速率与采用其他氯硅烷相比对温度敏感性小，因此可以采用调节氢气流中二氯二氢硅浓度的方法来控制沉积速高济技说原样开段医土事率，而且不会出现鼓泡所带来的不准确性和机械问题。2.用于甲硅烷基化剂，及合成硅的有机化合物。[21]

安全信息

风险术语

　　R12:Extre娘保思者四mely flammable映火每位术领百观都难用. 极度易燃。

　　R14:Reacts violently with water. 遇水反应剧烈。

　　R23:To鲁孩困村青随多频xic by inh云图alation. 吸入有毒。

　　R34:Causes burns. 引起灼伤。

安全术语

　　S26:In case of contact with eyes, rinse immediately with plenty of water and seek medical advice.不慎与眼睛接触后，请立即用大量清水冲洗并征求医生意见。

　　S36/37/39:Wear suitable protective clothing, gloves and eye/face protection.穿戴适当的防护服、手套和护目镜或面具。

　妒包父士速般要果压生　S45:In case of accident or if you feel 屋作两茶unwell, seek medical advice immediately (show the label whenever possible.) 　若发生事故或感不适，立即就医(可能的话，出示其标签)。

系统编号

　　CAS号：4109-96-0

　　MDL号：MFCD00011600

　　EINECS号：223-888-3

　　RTECS号：VV3050000

　　PubChem号：24860129

毒理学数据

　　1.急性毒性 暂无资料

　　2.刺激性[14] 家兔经眼：5mg（30s），轻度刺激。

　　3.其他[15]

　　大鼠吸入氯化氢LC50：3124ppm（60min），4701ppm（30min）。

　　人吸入氯化氢LCLo：1300ppm（30min），3000ppm（5min）。

分子结构数据

　　1、摩尔折射率：无可用的

　　2、摩尔体积（m3/mol）：无可用的

　　3、等张比容（90.2K）：无可用的

　　4、表面张力（dyne/cm）：无可用的

　　5、介电常数：无可用的

　　6、极化率：无可用的

　　7、单一同位素质量：99.930281 Da

　　8、标称质量：100 Da

　　9、平均质量：101.0074 Da

计算化学数据

　　1、疏水参数计算参考值（XlogP）：无

　　2、氢键供体数量：0

　　3、氢键受体数量：0

　　4、可旋转化学键数量：0

　　5、互变异构体数量：无

　　6、拓扑分子极性表面积（TPSA）：0

　　7、重原子数量：3

　　8、表面电荷：0

　　9、复杂度：2.8

　　10、同位素原子数量：0

　　11、确定原子立构中心数量：0

　　12、不确定原子立构中心数量：0

　　13、确定化学键立构中心数量：0

　　14、不确定化学键立构中心数量：0

　　15、共价键单元数量：1

生态学数据

　　1.生态毒性 暂无资料

　　2.生物降解性 暂无资料

　　3.非生物降解性 暂无资料

性质与稳定性

　　1.稳定性[16] 稳定

　　2.禁配物[17] 强碱、水、醇类、强酸、强氧化剂、卤素

　　3.避免接触的条件[18] 潮湿空气

　　4.聚合危害[19] 不聚合