抛光垫

抛宗即信消氧爱六台庆光垫又称抛光皮，抛光布，抛光片，化学机械抛光中决定表面质量的景挥例往毛航让回重要辅料。

• 中文名称 抛光垫
• 外文名称 Polishing pad, Polishing cloth
• 按是否有磨料 分为有磨料抛光垫和无磨料抛光垫
• 按表面结构 平面型、网格型和螺旋线型

分来自类

　　按是否含有磨料可以分为有磨料抛光垫和无磨料抛光垫; 按材质的不同可以分为聚氨酯抛光垫、无纺布抛期夜光垫和复合型抛光垫; 按表面结构的不同大致可分为平面型、网格型和螺旋线型。

作用

　　①把抛光液有效均匀地输送到抛光垫的不同区域;

　　②将抛光天牛映识操裂合站那急后便化学反应充分进行;的反应物、碎屑等顺利排出，达到去除效果;

　　③维持抛光垫表面的抛光液薄膜, 以便化学反应充分进行;

　　④保持抛光过程的平稳、表面不变形, 以便获得较好的晶片表面形貌;

影响因素

　　①硬度-抛光垫的硬度决定保持面形精度的能力;

　　②压缩比-压缩比反应来自抛光垫的抗变形能力;

　　③涵养量-抛光垫的涵养量是单位体积的抛光垫存储抛光液的质量;

　　④粗糙度-表面粗糙度是抛光垫表面的凸凹不平程度,;

360百科　　⑤密度-密度是抛光垫材料的致密程度;